1.生产设备之选择、布置与保养：
 

a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。
 

b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
 

c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。
 

d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。
 

e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。
 

f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。
 

g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。
 

h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。